Sputtering target and method/apparatus for cooling the target

WO2007050307 Art A2 3. Mai 2007

Anmelder: Guardian Industries Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007050307
Aktenzeichen: EP06825817
Anmeldetag: 13. Oktober 2006
Veröffentlichung: 3. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Guardian Industries Corp.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Guardian Industries

Guardian Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Flachglas und Glasbeschichtungen und gehört zum Koch-Industries-Konzern. Das Patentportfolio konzentriert sich auf anorganische Chemie und Werkstoffe sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Fertigungstechnik und Gebäudetechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2017.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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