Blister Resistant Optical Coatings

WO2007050458 Art A2 3. Mai 2007

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007050458
Aktenzeichen: EP06826355
Anmeldetag: 20. Oktober 2006
Veröffentlichung: 3. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B32B15/04B32B19/00B32B9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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