Plasma diagnostic apparatus and method

WO2007052902 Art A1 10. Mai 2007

Anmelder: Korea Research Institute of Standards and Science, Chung, Chin-Wook 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007052902
Aktenzeichen: EP06799074
Anmeldetag: 2. Oktober 2006
Veröffentlichung: 10. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Korea Research Institute of Standards and Science
Chung, Chin-Wook
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Research Institute of Standards and Science

Der Anmelder ist ein südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut für Metrologie mit Sitz in Daejeon, bekannt als KRISS. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiterbauelemente, Software und Medizintechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von