Systems and methods for generating laser light shaped as a line beam

WO2007053318 Art A2 10. Mai 2007

Anmelder: Cymer, Inc., Carl Zeiss Laser Optics GmbH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007053318
Aktenzeichen: EP06826248
Anmeldetag: 20. Oktober 2006
Veröffentlichung: 10. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cymer, Inc.
Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von