Heating apparatus, heat treatment apparatus, computer program and storage medium

WO2007058068 Art A1 24. Mai 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007058068
Aktenzeichen: EP06822693
Anmeldetag: 31. Oktober 2006
Veröffentlichung: 24. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/26H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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