Polishing process for producing damage free surfaces on semi-insulating silicon carbide wafers

WO2007058774 Art A1 24. Mai 2007

Anmelder: The Penn State Research Foundation. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007058774
Aktenzeichen: EP06844241
Anmeldetag: 1. November 2006
Veröffentlichung: 24. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302C09K13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Penn State Research Foundation.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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