Optical integrator, illumination optical device, exposure device, and device manufacturing method

WO2007060834 Art A1 31. Mai 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007060834
Aktenzeichen: EP06823149
Anmeldetag: 8. November 2006
Veröffentlichung: 31. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G02B3/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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