Probe pin and method for manufacturing probe pin

WO2007060935 Art A1 31. Mai 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007060935
Aktenzeichen
EP06833032
Anmeldetag
21. November 2006
Veröffentlichung
31. Mai 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G01R1/067
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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