Vertical Mount Mass Flow Sensor

WO2007061608 Art A2 31. Mai 2007

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007061608
Aktenzeichen: EP06827469
Anmeldetag: 3. November 2006
Veröffentlichung: 31. Mai 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/684

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von