Integration of pore sealing liner into dual-damascene methods and devices

WO2007062383 Art A2 31. Mai 2007

Anmelder: Texas Instruments Incorporated, Engbrecht, Edward Raymond 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007062383
Aktenzeichen
EP06846369
Anmeldetag
22. November 2006
Veröffentlichung
31. Mai 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/4763
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Texas Instruments Incorporated
Engbrecht, Edward Raymond
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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