Multi-Stage Roots Vacuum Pump

WO2007063341 Art A1 7. Juni 2007

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007063341
Aktenzeichen
EP06808769
Anmeldetag
21. November 2006
Veröffentlichung
7. Juni 2007
Rechtsraum
WO
IPC
F04C18/12F04C18/08F04C23/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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