Method and purification of unsaturated fluorinated carbon compound, method for formation of fluorocarbon film, and method for manufacture of semiconductor device

WO2007063938 Art A1 7. Juni 2007

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007063938
Aktenzeichen: EP06833732
Anmeldetag: 30. November 2006
Veröffentlichung: 7. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C07C17/389C07C21/20C07C21/22C07C23/08B01D53/28B01J20/02C23C16/32H01L21/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Zeon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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