Method for processing/washing with ultra-pure water plasma foams and apparatus for the method

WO2007063987 Art A1 7. Juni 2007

Anmelder: OSAKA UNIVERSITY, Ehime University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007063987
Aktenzeichen: EP06833869
Anmeldetag: 1. Dezember 2006
Veröffentlichung: 7. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24B01J19/08B08B3/12B08B7/00H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: OSAKA UNIVERSITY
Ehime University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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