Method of determining a target mesa configuration of an electrostatic chuck

WO2007064435 Art A2 7. Juni 2007

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007064435
Aktenzeichen: EP06836735
Anmeldetag: 1. November 2006
Veröffentlichung: 7. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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