Semiconductor wafer storage case and method of storing wafers

WO2007066384 Art A1 14. Juni 2007

Anmelder: Fujitsu Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007066384
Aktenzeichen: EP05814572
Anmeldetag: 6. Dezember 2005
Veröffentlichung: 14. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673B65D85/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujitsu Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujitsu

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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