Gas head and thin-film production apparatus

WO2007066472 Art A1 14. Juni 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007066472
Aktenzeichen: EP06832551
Anmeldetag: 13. November 2006
Veröffentlichung: 14. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455H01L21/205H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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