Gate valve for vacuum apparatus

WO2007066537 Art A1 14. Juni 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007066537
Aktenzeichen: EP06833486
Anmeldetag: 28. November 2006
Veröffentlichung: 14. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24F16K3/02F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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