System and method for correcting for pressure variations using a motor
WO2007067359
Art A2
14. Juni 2007
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2007067359
- Aktenzeichen
- EP06838252
- Anmeldetag
- 20. November 2006
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2007
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- F04B49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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