Surface inspection apparatus and surface inspection method

WO2007069457 Art A1 21. Juni 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007069457
Aktenzeichen: EP06833636
Anmeldetag: 29. November 2006
Veröffentlichung: 21. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/956G01B11/30G03F7/20H01L21/027H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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