Apparatus for cluster film formation, method for cluster film formation, apparatus for cluster formation, and method for cluster formation

WO2007069528 Art A1 21. Juni 2007

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007069528
Aktenzeichen: EP06834214
Anmeldetag: 7. Dezember 2006
Veröffentlichung: 21. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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