Substrate conveying method, substrate conveying apparatus, and exposure apparatus

WO2007072817 Art A1 28. Juni 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007072817
Aktenzeichen: EP06842873
Anmeldetag: 19. Dezember 2006
Veröffentlichung: 28. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/00B65G49/06B65G49/07H01L21/027H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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