Feedstock supply unit and vapor deposition equipment

WO2007072867 Art A1 28. Juni 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007072867
Aktenzeichen: EP06842946
Anmeldetag: 20. Dezember 2006
Veröffentlichung: 28. Juni 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C14/24H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von