Tilt sensor and encoder

WO2007074752 Art A1 5. Juli 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION, Sendai Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007074752
Aktenzeichen: EP06835159
Anmeldetag: 25. Dezember 2006
Veröffentlichung: 5. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/26G01D5/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Sendai Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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