Defect inspection device for inspecting defect by image analysis

WO2007074770 Art A1 5. Juli 2007

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007074770
Aktenzeichen: EP06843176
Anmeldetag: 25. Dezember 2006
Veröffentlichung: 5. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01N21/956G06T1/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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