Hardmask compositions for resist underlayer films

WO2007074961 Art A1 5. Juli 2007

Anmelder: CHEIL INDUSTRIES INC. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007074961
Aktenzeichen: EP06798616
Anmeldetag: 1. September 2006
Veröffentlichung: 5. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/075

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CHEIL INDUSTRIES INC.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Cheil Industries Inc.

Ehemaliges südkoreanisches Chemie- und Materialunternehmen der Samsung-Gruppe, 2015 in Samsung C&T Corporation aufgegangen und heute nicht mehr eigenständig tätig.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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