Method of creating mems device cavities by a non-etching process

WO2007078495 Art A2 12. Juli 2007

Anmelder: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007078495
Aktenzeichen
EP06844688
Anmeldetag
30. November 2006
Veröffentlichung
12. Juli 2007
Rechtsraum
WO
IPC
B81B3/00G02B26/08G02B26/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Qualcomm MEMS Technologies

Qualcomm MEMS Technologies war eine Konzerngesellschaft von Qualcomm, die reflektive MEMS-Displaytechnik (Mirasol) für mobile Endgeräte entwickelte. Das Portfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Anzeige- und Signaltechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis 2016 belegt.

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