Object conveyance apparatus, exposure apparatus, object temperature regulation apparatus, object conveyance method, and method of producing microdevice

WO2007080779 Art A1 19. Juli 2007

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007080779
Aktenzeichen: EP06843235
Anmeldetag: 26. Dezember 2006
Veröffentlichung: 19. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677B65G49/07G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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