Substrate processing device, license management program, license information provision device, license information provision program, license management system and recording medium

WO2007083499 Art A1 26. Juli 2007

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007083499
Aktenzeichen: EP06843324
Anmeldetag: 26. Dezember 2006
Veröffentlichung: 26. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G06F21/22G06F21/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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