Substrate holding apparatus, exposure apparatus, and device production method

WO2007083592 Art A1 26. Juli 2007

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007083592
Aktenzeichen: EP07706736
Anmeldetag: 15. Januar 2007
Veröffentlichung: 26. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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