Sputtering apparatus and sputtering method

WO2007083608 Art A1 26. Juli 2007

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007083608
Aktenzeichen: EP07713609
Anmeldetag: 16. Januar 2007
Veröffentlichung: 26. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/08C23C14/56

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Anmelder

Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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