Sensors for dynamically detecting substrate breakage and misalignment of a moving substrate

WO2007084124 Art A1 26. Juli 2007

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007084124
Aktenzeichen: EP06718751
Anmeldetag: 18. Januar 2006
Veröffentlichung: 26. Juli 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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