Superposition management method and apparatus, processing apparatus, measurement apparatus and exposure apparatus, device fabrication system and device fabrication method, and program, and information recording medium

WO2007086316 Art A1 2. August 2007

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007086316
Aktenzeichen: EP07713648
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 2. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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