Pressure sensor device and fluid control device having built-in pressure sensor

WO2007086394 Art A1 2. August 2007

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007086394
Aktenzeichen
EP07707290
Anmeldetag
24. Januar 2007
Veröffentlichung
2. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G01L19/00F16L41/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujikin Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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