Method and apparatus for inspecting sample surface

WO2007086400 Art A1 2. August 2007

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007086400
Aktenzeichen: EP07707298
Anmeldetag: 24. Januar 2007
Veröffentlichung: 2. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/29G01N23/225H01J37/147H01J37/20H01J37/21H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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