Methods of implanting ions and ion sources used for same

WO2007087212 Art A1 2. August 2007

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007087212
Aktenzeichen: EP07762577
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 2. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/265H01J37/08H01J37/317H01J27/02C23C14/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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