"universal" barrier cmp slurry for use with low dielectric constant interlayer dielectrics

WO2007087831 Art A1 9. August 2007

Anmelder: FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007087831
Aktenzeichen: EP06723820
Anmeldetag: 3. Februar 2006
Veröffentlichung: 9. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L21/3105C09G1/00B24B57/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von