Method of forming fine channel using electrostatic attraction and method of forming fine structure using the same

WO2007089050 Art A1 9. August 2007

Anmelder: Seoul National University Industry Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007089050
Aktenzeichen
EP06715791
Anmeldetag
31. Januar 2006
Veröffentlichung
9. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Seoul National University Industry Foundation
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Seoul National University Industry Foundation

Die Seoul National University Industry Foundation ist die Technologietransfer-Organisation der Seoul National University in Südkorea. Das Patentportfolio verteilt sich auf Medizintechnik und Gesundheit, Pharma und Biotechnologie sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch organische Chemie und Halbleitertechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2021.

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