Radiation-Sensitive Composition

WO2007091621 Art A1 16. August 2007

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007091621
Aktenzeichen
EP07708201
Anmeldetag
8. Februar 2007
Veröffentlichung
16. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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