Transforming metrology data from a semiconductor treatment system using multivariate analysis

WO2007092229 Art A2 16. August 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007092229
Aktenzeichen: EP07763469
Anmeldetag: 30. Januar 2007
Veröffentlichung: 16. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G06F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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