Stacking rings for wafers

WO2007092557 Art A2 16. August 2007

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007092557
Aktenzeichen
EP07763183
Anmeldetag
8. Februar 2007
Veröffentlichung
16. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
B65D85/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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