Disposable liners for etch chambers and etch chamber components

WO2007092611 Art A2 16. August 2007

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007092611
Aktenzeichen: EP07763632
Anmeldetag: 8. Februar 2007
Veröffentlichung: 16. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE BOC GROUP, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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