Verfahren zur Herstellung einer Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran eines Mikromechanischen Bauelements und Entsprechende Prüfstruktur

WO2007093497 Art A1 23. August 2007

Anmelder: Robert Bosch GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007093497
Aktenzeichen: EP07726258
Anmeldetag: 30. Januar 2007
Veröffentlichung: 23. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/16G01L9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Robert Bosch GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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