Ion implanting apparatus

WO2007094432 Art A1 23. August 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007094432
Aktenzeichen
EP07714308
Anmeldetag
15. Februar 2007
Veröffentlichung
23. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/317H01J37/05H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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