Sample dimension inspecting/measuring method and sample dimension inspecting/measuring apparatus

WO2007094439 Art A1 23. August 2007

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007094439
Aktenzeichen: EP07714325
Anmeldetag: 9. Februar 2007
Veröffentlichung: 23. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00G06T1/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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