Apparatus for generating remote plasma

WO2007094572 Art A1 23. August 2007

Anmelder: Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007094572
Aktenzeichen: EP07701055
Anmeldetag: 24. Januar 2007
Veröffentlichung: 23. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University

Die Industry-University Cooperation Foundation Hanyang University ist die Patentverwertungseinrichtung der südkoreanischen Hanyang University in Seoul. Das Portfolio deckt vor allem Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik und Gesundheit ab, ergänzt um Nachrichtentechnik und Software. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit 2002.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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