Method and apparatus for activating compound semiconductor

WO2007097103 Art A1 30. August 2007

Anmelder: IHI Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007097103
Aktenzeichen
EP06842849
Anmeldetag
18. Dezember 2006
Veröffentlichung
30. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IHI Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 IHI Corporation

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Schwermaschinenbau, Luft- und Raumfahrttriebwerke sowie Anlagenbau.

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