Position measuring device and position measuring method, mobile body driving system and mobile body driving method, pattern forming device and pattern forming method, exposure device and exposure method, and device manufacturing method

WO2007097350 Art A1 30. August 2007

Anmelder: Nikon Corporation, Sendai Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007097350
Aktenzeichen: EP07714640
Anmeldetag: 21. Februar 2007
Veröffentlichung: 30. August 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01B11/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Sendai Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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