Poly pre-doping anneals for improved gate profiles

WO2007098302 Art A2 30. August 2007

Anmelder: Freescale Semiconductor, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2007098302
Aktenzeichen
EP07756372
Anmeldetag
18. Januar 2007
Veröffentlichung
30. August 2007
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Freescale Semiconductor, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Freescale Semiconductor

Ehemaliger US-amerikanischer Halbleiterhersteller, hervorgegangen aus einem Spin-off von Motorola, mit Schwerpunkt auf Mikrocontrollern und eingebetteten Prozessoren. Seit 2015 Teil von NXP Semiconductors.

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