Organic thin film depositing method and organic thin film depositing apparatus

WO2007099929 Art A1 7. September 2007

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007099929
Aktenzeichen: EP07714972
Anmeldetag: 27. Februar 2007
Veröffentlichung: 7. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C14/12H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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