Measurement apparatus, exposure apparatus having the same, and device manufacturing method

WO2007100144 Art A1 7. September 2007

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2007100144
Aktenzeichen: EP07715264
Anmeldetag: 28. Februar 2007
Veröffentlichung: 7. September 2007
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01M11/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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